그린광학은 반도체 포토(노광) 공정 설비용 정밀 광학·센서 모듈 제품군에 대한 고객사 최종 품질 인증을 마치고 양산 공급을 진행 중이라고 22일 밝혔습니다.

해당 제품은 국내 반도체 장비 업체의 포토 공정 핵심 설비에 적용되며, 글로벌 반도체 기업의 첨단 반도체 생산라인에서 사용되고 있습니다. 그린광학이 공급하는 제품군은 웨이퍼 위치와 안착 상태를 감지하는 고정밀 센서 모듈과 감광액(PR) 처리 공정에 활용되는 초정밀 광학 모듈 등으로 구성됩니다.

그린광학은 기존 HBM 검사장비 분야에 이어 반도체 전공정 노광 설비 분야까지 공급 범위를 확대하고 있습니다. 그린광학 관계자는 “이번 정밀 광학·센서 모듈 공급은 기술적 진입장벽이 가장 높은 반도체 전공정 노광 설비 분야에서 그린광학의 광학 기술과 품질 경쟁력을 공식 인정받았다는 점에서 의미가 있다"고 말했습니다.